HiPace™ MC

Magnetgelagerte Turbopumpen mit integrierter Antriebselektronik.

Die HiPace MC ist eine magnetgelagerte Turbopumpe mit integrierter Antriebselektronik, die auf höchstem Niveau agiert. Dies gilt nicht nur für das besonders hohe Saugvermögen, die hohe Kompression und den hohen Gasdurchsatz. Auch die Magnetlagerung, die für außergewöhnlich vibrationsarmes und wartungsfreies Arbeiten sorgt, verkörpert Spitzentechnologie.

Das innovative Prinzip der integrierten Antriebselektronik erspart aufwendige Verkabelungen. Darüber hinaus ist die HiPace MC extrem robust und industrietauglich. Positiv zu erwähnen ist auch die integrierte Wasserkühlung, die eine optimale Wärmeabfuhr der Pumpe und Elektronik sicherstellt.

Vorteile

Durch integrierte Antriebselektronik entfallen aufwendige Verkabelungen
Universell einsetzbar durch hohes Saugvermögen und hohen Gasdurchsatz
Extrem niedrige Vibrationen und geräuscharm für sensible Anwendungen
Hohe Zuverlässigkeit durch permanente Rotorüberwachung
Robustes und langlebiges Fanglager-Konzept
Lange Lebensdauer der Elektronikkomponenten durch Wasserkühlung
Patentierter Zentrierring mit Anti-Rutsch-Beschichtung zur Erhöhung der Anlagensicherheit
Aktives 5-Achsen Magnetlagersystem
Beliebige Einbaulage Schnittstellen Profibus und DeviceNet (optional)
Semi S2-, F47- und E74-Zertifizierung

Anwendungen

Halbleiterindustrie
- EUV-Lithografie
- Chemische Abscheidung (CVD)
- Physikalische Abscheidung (PVD)
- Ionenstrahlätzen
- Ionenimplantation

Forschung & Entwicklung
- Physikalische Apparaturen
- Weltraumsimulation

Industrie
- Metallurgie
- Elektronenstrahlschweißen

Beschichtung
- Glasbeschichtung
- Dünne Schichten
- Ophthalmik
- Solarzellenbeschichtung

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