Turbopumpen
Turbopumpen für alle Anwendungen im Hoch- und Ultrahochvakuum.
Mit der Turbopumpe wird ein Vakuum im Hoch- und Ultrahochvakuumbereich von bis zu 10-11 mbar erzeugt.
Anwendungen
Bei der Herstellung vieler Produkte des täglichen Lebens und in vielen Bereichen der technischen Forschung spielt die Vakuumtechnik eine entscheidende Rolle. Dabei ist die Turbopumpe für die Erzeugung von extrem reinen Prozessbedingungen von entscheidender Bedeutung.
Beispiele für Anwendungen findet man in vielfältigen Bereichen:
- Analytik (Massenspektrometrie, Elektronenmikroskopie u.v.m.)
- Halbleiterindustrie (elektron. Bauelemente, integrierte Schaltkreise (IC), Solarzellen u.v.m.)
- Optische/Glas-Industrie (Wärmeschutz-, Antireflex-, Reflex-, optische Filterschichten u.v.m.)
- Beschichtungstechnologie (Oberflächenschutz, dekorative Schichten, Displays, Bildschirme u.v.m.)
- Vakuummetallurgie (Vakuumlöten, Vakuumsintern, Vakuumlegierungen, Ofenbau u.v.m.)
- Lecksuchtechnik (Vakuumanlagen, Kfz-Tanks, Airbagpatronen, Verpackungen)
- Forschungseinrichtungen (Elementarteilchenphysik, Fusionsforschung, Laseranwendung u.v.m.)
- Leuchtmittelindustrie (Lampenherstellung u.v.m.)
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