Seitenkanalpumpen
Die Hochvakuumpumpe gegen Atmosphäre!
Der OnTool Booster setzt mit Leistungsstärke und einer kompakten Bauweise neue Zeichen in der Vakuumtechnik.
Er zeichnet sich durch ein extrem hohes Saugvermögen von 130 m3/h und einen Enddruck von < 1 · 10-5 mbar aus. Der OnTool Booster ist die perfekte Lösung für saubere Anwendungen in Beschichtung, Halbleiterindustrie oder Forschung und Entwicklung – ohne Partikel, korrosive Gase oder Kondensation. Er ist vielseitig einsetzbar, entweder als Einzelpumpe oder als Vorpumpe für Turbopumpen.
Vorteile
- Innovativ – Hochvakuum direkt gegen Atmosphäre
- Wirtschaftlich – Keine Vorpumpe erforderlich
- Kompakt – Direkt an der Anlage einsetzbar
- Partikelfrei – Für alle sauberen Anwendungen
- Variabel – Als Einzelpumpe oder Vorpumpe einsetzbar
- Kurze Zykluszeiten – Optimiert für einen niedrigen Übergabedruck
- Leistungsstark – Extrem hohes Saugvermögen von 130 m3/h
- Flexibel – Hochvakuumflansche in 3 Positionen
Anwendungen
- Transferkammern
- Schleusen
- EUV-Lithographie
- Solarzellenbeschichtung
- Optische Beschichtung
- Oberflächenveredlung
- Simulationskammern
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