Restgasanalyse
Qualitative Analyse der Gaszusammensetzung in einer Prozesskammer.
Mit Pfeiffer Vacuum Quadrupolmassenspektrometern kann der Zustand in der Prozesskammer beurteilt werden.
Anwendungen
- Restgasanalyse im Hochvakuum
- Restgasanalyse im Ultrahochvakuum
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