Vakuumlösungen für die Halbleiterindustrie
Bahnbrechende Erfindungen wie der Transistor, von dem sich Millionen auf einem modernen Hochleistungschip befinden, wären ohne Vakuumtechnik nicht möglich gewesen. Diese Halbleiterbausteine kommen beispielsweise zum Einsatz in Computern, Mobiltelefonen, Digitalkameras, MP3- und DVD-Playern, Flachbildschirmen, mobilen Speicherbausteinen (Flash Memory), Automobilen sowie Haushaltselektronik.
Pfeiffer Vacuum bietet Turbopumpen, Vorpumpen, Pumpstände und Messgeräte für folgende Anwendungen: Beschichtung, CVD-Verfahren, Lithographie- sowie Ätz- und Implantationsprozesse. Weitere Anwendungsmöglichkeiten sind der Transfer in Prozesskammern, der Wafer-Transport und die Elektronenmikroskope (SEM und SLM).
Dank innovativer und zuverlässiger Produkte profitiert Pfeiffer Vacuum von der positiven Entwicklung in diesem dynamischen Marktsegment.
Einsatzgebiete unserer Produkte sind:
- Lithographie
- Metrologie
- Chemische Abscheidung (CVD)
- Ätzen
- Physikalische Abscheidung (PVD)
- Ionenimplantation
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