HiPaceTM MC
Anwendungen
Magnetgelagerte Turbopumpen mit integrierter Antriebselektronik.
das besonders hohe Saugvermögen, die hohe Kompression und den hohen Gasdurchsatz. Auch die Magnetlagerung, die für außergewöhnlich vibrationsarmes und wartungsfreies Arbeiten sorgt, verkörpert Spitzentechnologie.
Halbleiterindustrie
- EUV-Lithografie
- Chemische Abscheidung (CVD)
- Physikalische Abscheidung (PVD)
- Ionenstrahlätzen
- Ionenimplantation
Forschung & Entwicklung
- Physikalische Apparaturen
- Weltraumsimulation
Industrie
- Metallurgie
- Elektronenstrahlschweißen
Beschichtung
- Glasbeschichtung
- Dünne Schichten
- Ophthalmik
- Solarzellenbeschichtung
